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文章出处：原创编辑：admin 发表时间：2023-03-01

高温低温高度试验箱可以用于微电子器件的高空工作试验，通过低气压试验，可以检测微电子在低气压环境下，由于空气和其他绝缘材料的绝缘强度减弱抗电击穿失效的能力。

微电子低气压试验：

试验设备：高温低温高度试验箱（高低温低气压试验箱）

设备型号：环仪仪器 HYLA-1000

测试标准：GJB548B-2005 微电子器件试验方法和程序

配套设备：真空泵、压力表、示波器等

试验步骤：

1. 样品应按规定安放在密封室内，除另有规定外，以不大于10kPa/min 的降压速率将试验箱内气压降到有关标准规定的值。把样品保持在规定的压力下，对它们进行规定的试验。

2. 在试验期间及试验前的20min内，试验温度应为25℃±10℃。

3. 连接器件，进行测量，并且在整个抽气过程中施加规定的电压。

4. 用微安表或示波器监视施加最大电压的器件引出端，从直流到30MHz范围内看其是否出现电晕放电电流或进行其他规定的性能测试。

5. 对器件施加规定的电压，在从常压到规定的最低气压并恢复到常压的整个过程中监测器件是否出现故障。器件如出现飞弧、有害的电晕或其他任何影响器件工作的缺陷或退化，都应视为失效。

如对此试验有疑问的，可以咨询“环仪仪器”，获取专业人员的技术支持。

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